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內容簡介： 本书详细地介绍了微电子器件静电放电效应规律、失效机理及防护技术，紧紧围绕微电子器件静电问题，包括静电放电敏感度评价方法、静电放电明显性失效分析、静电放电潜在性失效分析和静电防护技术等几个方面，反映了本领域的最新研究成果。 本书可供微电子器件及相关行业从事工程技术、生产、质量检测、失效分析中静电放电、防静电工程、电磁环境效应研究的科技人员、工程技术人员和管理人员学习，也可作为高校电子科学与技术、兵器科学与技术等专业的研究生教材。 目錄： 第1章 微电子器件静电问题 1.1 引言 1.2 静电起电 1.3 静电放电 1.4 微电子器件静电危害 第2章 微电子器件 ESD敏感度评价方法 2.1 引言 2.2 ESD电路模型 2.3 ESD模拟器 2.4 微电子器件ESD敏感度试验 2.5 微电子器件ESD失效机制 第3章 微电子器件 ESD明显性失效分析 3.1 引言 3.2 半导体分立器件静电敏感度分析 3.3 集成电路静电敏感度分析 第4章 微电子器件ESD潜在性失效分析 4.1 引言 4.2 事件积累和时间积累的ESD潜在性失效 4.3 ESD潜在性失效影响因素 4.4 ESD潜在性失效的检测判别方法 第5章 典型 ESD保护器件防护性能测试与失效分析 5.1 引言 5.2 ESD保护器件防护性能测试方法 5.3 ESD保护器件防护性能测试系统性能分析 5.4 典型 ESD保护器件防护性能测试 5.5 典型 ESD保护器件失效分析 第6章 微电子器件静电防护技术 6.1 引言 6.2 微电子器件静电防护概论 6.3 微电子器件静电防护设计 6.4 防静电工作区设计 6.5 制造集成电路净化间的静电防护 6.6 防静电包装 参考文献

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