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| 編輯推薦: |
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☆本书内容涵盖了从基础理论到实际应用的各个方面,为读者提供了一个全面的真空镀膜技术知识体系。 ☆本书详细阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜等多种镀膜技术的原理,帮助读者深入理解各种技术背后的科学原理。 ☆本书介绍了薄膜厚度测量、薄膜分析检测技术以及工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程,具有很强的实用性和指导性。 ☆本书内容强调了工程实践性,适合从事相关技术研究、设计、设备操作及维护工作的技术人员阅读参考。 ☆本书通过实际案例分析,展示了真空镀膜技术在不同领域的应用,如电子工业、光学工业、工具制造等。 ☆本书是真空镀膜技术领域的专业人士、研究人员以及对表面工程技术感兴趣的学者不可多得的参考资料。
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| 內容簡介: |
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本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上,着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等,紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容,最后详细阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。本书叙述深入浅出,内容丰富而精炼,工程实践性强,在强化理论的同时,重点突出了工程应用,具有很强的实用性。本书适合从事真空镀膜技术、薄膜与表面工程、材料工程等领域的研究、设计、设备操作及维护工作的技术人员阅读参考。
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| 關於作者: |
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田灿鑫,男,博士,副教授/高级工程师,硕士生导师,现工作于岭南师范学院。广东省“扬帆计划”引进紧缺青年拔尖人才,广东省真空学会理事,2012年博士毕业于武汉大学硬质耐磨涂层方向,长期从事PVD(物理气相沉积)、PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工模具表面超硬耐磨涂层研发、生产工作。研究兴趣包括超硬纳米复合涂层的制备及微结构表征、离子束材料表面改性。曾经在爱恩邦德、武汉江海行等涂层技术及设备公司从事涂层研发生产工作,具有丰富的设备及工艺开发经验。主持的基金包括国家自然科学基金青年项目,企业创新人才项目,广东省科技厅国际合作项目,省自然科学基金,湖北省3551光谷人才计划等,发表学术论文30余篇,获国家发明专利20余项。
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| 目錄:
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1真空镀膜技术概论
1.1真空镀膜技术分类
1.2真空基础知识
1.3真空镀膜系统
1.4真空的获得
1.5真空的测量
1.6真空镀膜技术的应用
2真空蒸发镀膜
2.1真空蒸发镀膜的原理
2.2蒸发加热方式及蒸发源
2.3真空蒸镀工艺
2.4真空蒸发镀膜技术的应用
3真空溅射镀膜
3.1溅射镀膜的特点
3.2溅射的基本原理
3.3直流溅射
3.4射频溅射
3.5磁控溅射
……
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