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內容簡介： 传感器在当代科学技术中占有十分重要的地位，所有以计算机为基础的自动化、智能化系统，都需要传感器提供赖以做出实时决策的数据。近年来，作为信息获取的传感器技术的发展非常迅速。由于传感器技术自身的复杂性、综合性以及应用的个性化，使得经典原理的传感器的生命周期远远长于信息技术中传输与处理，非常明显的发展趋势是：沿用传统的作用原理和某些新效应，优先使用晶体材料，采用微机械加工工艺和微电子技术，从传统的结构设计转向微机械加工工艺的微结构设计，研制各种新型传感器及传感器系统，以满足体积、质量、功耗及动、静态特性等方面的要求。本教材简要介绍了新型传感技术的发展趋势、传感器的特性及其评估、传感器技术中采用的先进材料、以硅材料为重点的先进制造技术、传感器敏感结构的建模和模拟计算方法；介绍多类具有代表性的传感器的测量原理及应用：热电式传感器、应变式传感器、压阻式传感器、电容式传感器、电磁式传感器、压电式传感器、薄膜式传感器、谐振式传感器、声表面波传感器等。本教材在每一章都给出一些应用实例及分析，并配有丰富的思考题与习题。本教材可作为测控技术与仪器、电气工程及其自动化、自动化、机械工程及自动化、过程装备与控制工程、探测制导与控制技术等专业本科生的教材，也可作为仪器科学与技术、控制科学与工程、机械工程等学科研究生的教材，也可供有关的工程技术人员参考。

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