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內容簡介： 本书体系严密，深入浅出，将基本概念、工艺技术、典型器件和系统应用相结合，使读者能够全面地理解和掌握微纳制造与微机电系统相关知识。全书共8章，第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势；第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法；第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS器件制造方面的应用；第5章介绍LIGA/准LIGA技术；第6章介绍MEMS微传感器；第7章介绍MEMS微执行器；第8章介绍MEMS技术在生物医学、军事安全、远程通信以及航空航天等领域的典型应用案例。 關於作者： 大连理工大学机械工程学院教授、副院长.授课：机械工程导论、微制造与微机械电子系统、基础科研技能、科技综合技能。

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