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內容簡介： 《军用微系统设计与制造》按照高等学校兵器科学与技术专业的教学要求编写，强调微系统（MEMS）技术与武器系统的紧密结合，在阐述微系统技术的基础物理理论、典型微纳器件、加工制备工艺和未来发展趋势的基础上，重点介绍微系统技术在军事国防领域的应用。全书共7章，主要内容包括：微系统技术基础、典型微系统原理、典型微传感器技术、典型微执行器技术、典型微能源技术、微系统加工技术、智能MEMS□□引信技术等。 　　《军用微系统设计与制造》既注重基本原理和必要的理论分析，又力求反映新的科技成果，同时也突出军事上的实用性。该书是针对高等工科院校兵器科学与技术专业本科生和研究生的专业科技课程而编著的，同时也可以作为其他相关专业学生的辅助教材。 目錄： 第1章 微系统技术基础 1．1 微系统的定义和内涵 1．1．1 微系统的定义 1．1．2 微系统的功能及意义 1．1．3 微系统的特点 1．2 国防需求推动微系统发展 1．2．1 微系统的发展历程 1．2．2 航天领域微系统需求 1．2．3 武器领域微系统需求 1．2．4 机器人领域微系统需求 1．2．5 医疗领域微系统需求 参考文献 第2章 典型微系统原理 2．1 压阻效应 2．1．1 技术背景 2．1．2 理论描述 2．1．3 典型应用 2．2 压电效应 2．2．1 技术背景 2．2．2 理论描述 2．2．3 典型应用 2．3 静电效应 2．3．1 技术背景 2．3．2 理论描述 2．3．3 典型应用 2．4 热效应 2．4．1 热应力效应 2．4．2 热电阻效应 2．4．3 热电效应 2．5 光电效应 2．5．1 技术背景 2．5．2 理论描述 2．5．3 典型应用 2．6 压电驻极体效应 2．6．1 技术背景 2．6．2 理论描述 2．6．3 典型应用 参考文献 第3章 典型微传感器技术 3．1 压力传感器 3．1．1 压阻式压力传感器 3．1．2 压电式压力传感器 3．1．3 电容式压力传感器 3．1．4 光纤式压力传感器 3．2 加速度传感器 3．2．1 电容式加速度传感器 3．2．2 压阻式加速度传感器 3．2．3 压电式加速度传感器 3．2．4 热对流式加速度传感器 3．2．5 光学加速度传感器 3．3 生化传感器 3．3．1 气体传感器 3．3．2 离子传感器 3．3．3 湿度传感器 3．3．4 生物传感器 3．4 温度传感器 3．4．1 热敏电阻温度传感器 3．4．2 热电红外温度传感器 3．4．3 光纤温度传感器 3．5 MEMS陀螺仪传感器 3．5．1 MEMS陀螺仪概述 3．5．2 MEMS陀螺仪发展 …… 第4章 典型微执行器技术 第5章 典型微能源技术 第6章 微系统加工技术 第7章 智能MEMS22引信技术 参考文献

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